クリーンルーム 最近の事柄


2009年1月29日(木)午後5時〜午後6時:お披露目会


 和光市にあります理化学研究所から、KEK先端計測実験棟・大実験室のクリーンルームに、スパッターやドライエッチング装置などのプロセス装置群の移設が完了しましたので、この日に、クリーンルームのお披露目会が行われました。

 視察に来た方々:鈴木機構長、高崎素核研所長、幅測定器開発室長、春山氏(素核研)、
            小林氏(リニアコライダー計画推進室、写真撮影)



クラス10万室にあるワイヤーボンダーを見学中の機構長

クラス10万室にある光学定盤上のマイクロウェーブ実験について議論する都丸氏、機構長、羽澄氏

クラス1万室にあるAFMプローブ顕微鏡で、スパッター後の表面の画像を見る、素核研所長、幅氏、羽澄氏、説明をする理研・佐藤広海氏

超伝導トンネル素子の製作方法、プロセス装置群の動作原理が書かれたポスターを見る機構長と素核研所長