<%@LANGUAGE="JAVASCRIPT" CODEPAGE="65001"%> アブストラクト

Technology CAD(TCAD)は半導体デバイス内部の物理現象を理解する上で強力なツールである。TCADの中核技術、プロセス・デバイスシミュレーションの概要・動向を紹介した後、適用例を通じて難しい側面や結果の解釈について論じる。