Technology CAD(TCAD)は半導体デバイス内部の物理現象を理解する上で強力なツールである。TCADの中核技術、プロセス・デバイスシミュレーションの概要・動向を紹介した後、適用例を通じて難しい側面や結果の解釈について論じる。
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10月1日15:00- |
4号館3階会議室 TCADによる半導体デバイスの理解 福田浩一氏 (産業技術総合研究所 ナノ電子デバイス研究センター ) |
Technology CAD(TCAD)は半導体デバイス内部の物理現象を理解する上で強力なツールである。TCADの中核技術、プロセス・デバイスシミュレーションの概要・動向を紹介した後、適用例を通じて難しい側面や結果の解釈について論じる。