クリーンルーム 最近の事柄
2009年1月29日(木)午後5時〜午後6時:お披露目会
和光市にあります理化学研究所から、KEK先端計測実験棟・大実験室のクリーンルームに、スパッターやドライエッチング装置などのプロセス装置群の移設が完了しましたので、この日に、クリーンルームのお披露目会が行われました。 視察に来た方々:鈴木機構長、高崎素核研所長、幅測定器開発室長、春山氏(素核研)、 小林氏(リニアコライダー計画推進室、写真撮影)